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熱式氣體流量計的應用概況
日期：2025-05-10 07:53
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摘要：
熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監控取樣氣體量。分流型熱分布式儀表應用于30~50mm以上管徑時，通常在主流管道上裝孔板等節流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。
冷卻效應的插入式熱式氣體流量計國外近10年在環境保護和流程工業中應用發展迅速，例如；水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制，煤粉燃燒過程粉/氣配比控制，污水處理發生的氣體流量測量，燃料電池工廠各種氣體流量測量等等。大管道用還有徑向分段排列多組檢測元件組成的插入檢測桿，應用于鍋爐進風量控制以及煙囪煙道排氣監測SO2和NOX排放總量。
液體微小流量熱式氣體流量計應用于化學、石油化工、食品等流程工業實驗性裝置，如液化氣流量測量，注入過程中控制流量；高壓泵流量控制的反饋量；藥液配比系統定流量配比控制；直接液化氣液態計量后氣化，供給工業流程或商業銷售。還有在色譜分析等儀器上用作定量液取樣控制以及用于動物實驗麻醉液流量測量。還未見到液體微小流量TMF國內定型產品。
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